器件被密封之前，为了让吸附在内腔表面的水汽以及其他未挥发的污染物能够“动”起来，需要提供合适的温度，所以温度是第一要素。相对而言，吸附在内腔表面的水汽通过设定合适的温度比较容易释放出来。但是，对于在导电胶内部含有的水汽，则需要更高的温度来给水汽分子提供更多的能量，并通过适当延长烘烤时间，使得水汽分子从导电胶内先通过扩散的方式慢慢渗出导电胶的表面，然后再由表面释放出来。

对于和器件内部水汽里的氢原子结合成的氧化物，因其化学应力强，其应力比吸附在器件表面的分子高约100 倍以上，因此需要非常高的能量才能去除。另外，因为残留在里面的水分子因化学变化及应力作用，被束缚在器件表面，而且非常缓慢地释放，所以为了完全释放需要较长的时间。因此除了高温烘烤、氮气冲刷以及抽真空外，还要考虑时间因素，必须保持足够的时间将污染物及水汽排除。

根据真空烘烤除气的原理，温度、烘烤时间、充气时间、真空度是真空烘烤除气的4 个关键要素，也是影响真空烘烤除气效果的决定性因素。