高效过滤器的检测需要气溶胶发生器和光度计2 个专用设备。气溶胶发生器用以产生气溶胶颗粒，光度计用以测试高效过滤器的过滤效率。

（1）可扫描检测的过滤器。运行安全柜，去掉过滤器的散流装置和保护盖，安放气溶胶发生器，将气溶胶（其光散射强度至少应等于10μg/L DOP 产生的光散射强度）导入安全柜，产生均匀分布的高效过滤器上游气流。光度计探头在过滤器下游距过滤器表面不超过25mm，以小于50mm/s 的扫描速率移动，使探头扫测过滤器的整个下游一侧和每个组合过滤片的边缘，扫测路线应略微重叠。围绕整个过滤器外围，沿组合过滤片和框架的连接处以及围绕过滤器和其他部件之间的密封处仔细扫测。所有检测点的漏过率不超过0.01%。

（2）不可扫描检测的过滤器。对于经管道排气的安全柜，在下游气流的管道上钻一个直径大约10mm 的孔，将带有硬管光度计探针插入孔中进行检测。检测点的漏过率不大于0.005%。