生物芯片技术是近几十年来信息、生物高度融合的新技术。作为一种快速医疗诊断的重要技术，生物芯片能够极大地提高人口素质和健康水平。生物芯片结合了微加工、微电子等技术在传统芯片表面构建了微小的生物分析检测、传感系统。生物芯片上集成了密集排列的分子微阵列，能够在短时间内分析大量的生物分子，可以快速准确地获取样品中的生物信息，效率是传统检测手段的成千上万倍。基于 MEMS工艺制造的微泵器件在生物芯片技术中有着重要的应用。微泵被视为生物芯片的“心脏”，用来输送相关液体。

生物芯片中微量液体传输控制（微流控）是涉及诸多领域的重要问题，昂贵液体药品的无损转移、微流体器件与生物芯片中的液体驱动等，都与之直接相关。因为从芯片中的样品制备、化学反应到分离检测，需要有精准的驱动控制将上一步的结果输送到下一步。微泵在健康医疗最大的应用领域是微流控系统。当前，微流控系统发展水平已开始从基础与应用基础研究进入到一个开展更深入基础研究、广泛扩大应用领域、及深度产业化和市场开发阶段。特别是由于其特有的微型化、便携化、极快的分析速度和高分析效率等特点，近年来微流控技术在一些重大突发性流行性疾病，比如 2009 年在墨西哥爆发而影响全世界的 H1N1 甲型流感病毒，对其基因分析、疾病检测、预防和治疗中发挥了重要的作用。微流控分析芯片将逐渐取代当前生物化学分析实验室的众多仪器设备，慢慢进入到生产现场、病房甚至家庭，集分离、分析、检测于一体的高度集成化、微型化、自动化、便携化的“芯片实验室”将在不久成为现实。随着微泵技术的进步，许多基于不同原理的微泵相继用于微流控系统中。如电渗泵、流体电动力泵、压电泵、静电泵都已经成功设计和制造出来。

同时，微流体系统的发展也促进了微泵的进步，并对微泵技术提出了更高的要求，比如微泵流速范围、流速稳定性、响应时间、加工难度、结构复杂性、工艺兼容性以及批量制造等。