常见真空泵故障分析及维修办法

旋片式油封式机械泵

对于中小型真空设备，旋片式油封式机械泵是最基本的真空获取设备之一，属于低真空泵，工作压力范围为101 325耀1伊10-2Pa。它可单独使用，也可以作为其他高真空泵的前级泵使用。旋片式油封式机械泵（图1）可用于抽取干燥气体和一定量的可凝气体。

旋片式油封式机械泵的常见故障

真空性能较差

（1）泵体内油有问题，机械泵性能表现和油的质量及纯度有着非常密切的关系。泵在使用过程中，所抽设备里的杂质和水容易通过抽气进入真空泵油中，这种情况会严重影响机械泵的性能。因此，需要经常对真空泵油进行取样观察。如泵油有颗粒沉淀物、有水沉积、色彩较暗，则需要更换泵油并检查进气口过滤器滤芯是否有损坏。注意不同种类或牌号的真空泵油不可混合使用。

（2）真空系统泄漏，检查设备真空系统并检漏。

（3）泵内部元件损坏，拆开机械泵，检查泵体旋片磨损情况，观察泵体表面是否有划痕，如泵体内较脏或有粘糊状物质，则需清洗泵体和旋片后重新安装。根据经验，如泵体和旋片磨损较轻微，洗后泵的真空度会有所下降，需测试是否可满足设备真空性能需求。如磨损严重，则需更换旋片或泵体，由于机械泵旋片和泵体之间间隙直接影响机械泵抽气性能，一般需配合加工。如只更换其中之一，往往难以修复，需配合研磨。